一、应用领域
TM660光谱仪采用最先进的硅漂移探测器（SDD），是优特公司为超薄样品的镀层测量、元素分析、ROHS分析而设计的一款高端仪器，实现最小分析直径在10um的微区测定，大幅度提高传统x射线荧光光谱仪的微小区域分析的灵敏度。适用于极微小样品。
1、镀层检测
在线测量超薄的太阳能电池中ClGS，ClS，CdTe层厚度；
测量玻璃面板、金属和塑料支架、太阳能胶片上薄膜的厚度；
测试尺寸较小接插件、电气连接器电镀，PCB电镀，塑料、ABS、镁铝合金电镀。特别适合PCB板上较小、较薄的Au、Ag、Pd等贵重金属电镀。
2、元素分析，微区扫描
电子和半导体工业中的镀层测量和分析
环境科学（大气颗粒分析）
生命科学（细胞分析）
冶金、地质、石油化工等行业
3、RoHS检测
欧盟RoHS指令规定所限制的Cr、Hg、Pb、Cd、Br的总含量检测，塑料中的Cl元素含量检测。镁铝合金电镀Au、Ag、Sn、Ni、Cu、Zn、Cr、NiP等。
4、镀液分析
电镀液中Au、Ag、Cu、Ni、Cr、Zn、Sn的浓度检测，以及杂质元素Ag、Cu、Ni、Cr、Zn、Sn、Fe、Co、Mn、Sb等分析。
5、合金材料分析
不锈钢中的Fe、Cr、Ni、Mo等成分
合金钢中的Fe、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Zn、Nb、Mo、Sn、Sb、W、Pb等成分
铜合金中的Cu、Zn、Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、、Sn、Sb、W、Pb等成分
锌合金中的Zn、Cu、Fe、Cr、Mn、Ni、Cu、Zn、、Sn、Sb、W、Pb等成分
焊锡中的Sn、Fe、V、Cr、Ni、Cu、Zn、Nb、Sb、W、Pb等成分
6、贵重金属鉴别
黄金饰品的纯度检测以及杂质Ag、Ni、Cu、Zn、Cd、Y、Zr、Rh、Pd等分析
铂金饰品的纯度检测以及杂质Ag、Ni、Cu、Zn、Cd、Y、Zr、Rh、Pd、Au等分析
钯金饰品的纯度检测以及杂质Ag、Ni、Cu、Zn、Cd、Y、Zr等分析
银饰品的纯度检测以及杂质Fe、Ni、Cu、Zn、Cd、Sn等分析
7、食品及安全检测
日常食品中微量元素Fe、Zn、Cu、Mn、Cr、Mo等分析
各种补品中有效成分分析，如补Ca口服液的Ca含量，补Zn口服液的Zn含量等
茶叶辨别：根据不同产地茶叶中微量元素不同，辨别茶叶种类和真伪
8、环境检测
汽油、柴油、煤油等中的含Pb、As、Cd等元素的检测
水质分析，分析河水、湖水、污水、地下水、饮用水中的Fe、Ti、V、Cr、Mn、Co、Ni、Cu、Zn、Nb、Mo、Sn、Sb、W、Pb、Hg、Cd等元素。
二、仪器特点
- 从S到U的快速元素分析、金属镀层厚度检测
- 检测灵敏度0.1ppm到99.99%；镀层1nm到35000nm
- 15-20 倍彩色CCD系统用于样品图像观察
- 有多种形状和多种规格的准直器可供选用
- 多种滤光机制、多种规格滤光片针对不同样品
- 高分辨率探测器，提高测量灵敏度
- OPTIC BEAM光缆微束聚焦
- 超大样品仓配合精密调节自动程控多点扫描、微区扫描样品台，可以测量特大到特小的各种尺寸样品
- 通过集成的可编程XYZ样品台及高清晰视频摄像头，测量点的准确定位简单而精准。硅漂移探测器（SDD）的能量解析度可达125ev，分析准确度和灵敏度非常高
- FP基本算法软件
- 灵活的应用分析软件
- 仪器安装简单、快速
三、技术指标
产品执行标准 DIN50987，ISO3497，ASTMB568
测试原理 EDXRF能量色散X荧光光谱法
测量样品 固体、液体、粉末
功能
欧盟RoHS指令规定所限制的Cr、Hg、Pb、Cd、Br的含量检测
单镀层和多镀层测厚与元素分析，最多可分析6层（不包括基层）
镀液成份分析
高压发生器
输入电压 220VAC±10%
输出电压 0-50kV
输出电流 0-200mA
输出精度 0.01%
X射线管
X射线管靶材 W、Rh、Mo、Ag、Cr靶材可选
X射线管窗口 Be窗
电气参数 50W, 4-50kV, 0-1000uA
冷却方式 油冷却
X射线照射方向 由下至上
使用寿命 h
探测器
探测器类型 硅漂移探测器（SDD）
元素分析范围 C6-U92
分辨率 FWHM达125eV
探测窗口 铍窗，窗口面积：5-25mm2
冷却方式 0.5-5mm
RoHS测量指标
分析范围 0.1ppm—99.99%
镀层测厚与元素分析指标
测厚范围 1nm—35000nm
测量时间 在线实时测量，10-30s，最快时仅需5s
谱处理系统
处理器类型 全数字化32-bit DSP
谱通道数 256，512，1024，2048可供选择
计数率 大于100000cps
能量范围 125eV-40960eV
死时间 <3%
光路系统
准直器系统 Φ20um微束光线
对焦系统 镭射激光对焦
滤光片 多种滤光机制（Cu、Mo、Al）
计算机和软件
控制计算机 联想品牌机，2G内存，500G硬盘驱动
显示器 联想19寸LCD显示器
操作系统 Windows XP
报告结果 自动打印格式
软件 镀层测厚软件、元素分析软件
软件类型 FP基本参数法软件
软件语言 简体中文、繁体中文、英文、其它
谱显示 自动峰定性，KLM标记，谱重迭比较
谱处理 总强度，净强度，背景强度；全面积，净面积，多元素拟合，高斯拟合
资料分析 基本参数，基本谱图，无标样测试，峰位修正，底材修正。
重量和尺寸
设备主体尺寸 宽×高×深：W 700×H 480×D 380 mm
主体重量 约70kg
使用环境
工作环境 温度15-25℃，湿度40-70%RH
电源系统 单相220V±10%，工作电压在允许范围内
其它 1. 不要靠近产生强磁场，电场，高频等装置；2. 减少振动3. 粉尘少，湿度低，无腐蚀性气体；4. 日光不能直射；5. 作为地震的对策，要考虑装置的固定。