039 多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构
[摘要] 本技术属于多晶硅提纯或铸锭领域，特别涉及一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构。其包括坩埚和平台，坩埚设于平台上面，在平台的上表面，从平台中心沿径向向外，开设有数条径向导流槽；围绕平台中心开设有数条纬向导流槽，径向导流槽和纬向导流槽相交成网状结构；在最****的纬向导流槽的边缘，开设有一个或多个导流口；平台底部的周边设有倒角；一环形凝固槽，其内周设于平台的下面倒角的里面，其外周延伸到平台的外面。由于平台上设有导流槽，平台下面设有凝固槽，一旦坩埚损
013 多晶硅铸锭炉自动控制系统及方法
[摘要] 一种多晶硅铸锭炉自动控制系统，包括：中央处理单元，与中央处理单元连接的PLC可编程控制器，所述的中央处理单元连接多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分，所述的PLC可编程控制器连接机界面装置、开关量真空泵组和电磁阀。一种多晶硅铸锭炉自动控制方法，其步骤为：第一步，自动抽真空和检漏，第二步，当检漏通过以后，进入配方运行阶段，中央处理器通过与多晶硅铸锭炉的加热部分和气路部分的数据通讯，处理当前
027 采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉
[摘要] 本技术提供的一种采用梯度降温的多晶硅精铸锭炉，包含炉底自动进料机构，炉体加热机构，以及炉顶机构；炉底自动进料机构包含炉底、坩埚、连接炉底的升降机构、连接升降机构的水平移动机构；炉体加热机构包含炉身、可移动加热元件、保温层；炉顶机构包含炉盖、设置在炉盖上
005 多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
[摘要] 一种多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统，属多晶硅铸锭炉的设计与制造技术领域，主要由底部带岩棉(10)的炉体(1)，置于炉体内底部带保温底板(6)的保温笼体(5)，置于保温笼体内带石英坩埚(2)和石墨坩埚(3)的热交换台(4)，置于岩棉中部的中心护套(12)和凸台套管(11)，开设于石墨坩埚底部两边的导流沟(13)，开设于保温底板两边的导流孔(14)，置于炉体底部的岩棉(10)上与导流孔(14)对应位置的硅液溢流承接容器(7)，置于硅液溢流承接容器内带
031 多晶硅铸锭炉
[摘要] 本技术提供的多晶硅铸锭炉，包括腔体；位于所述的腔体内的坩埚，所述的坩埚用于装入硅；位于所述腔体内且设置在所述坩埚四周的隔热材料；设置在所述隔热材料内的加热器；所述加热器对装入所述的坩埚内的硅进行加热；其特征在于，还包括：设置在所述的坩埚下部并位于所述的隔热材料内的冷却装置。所述的冷却装置上设置有一驱动所述的冷却装置运动的第二移动装置。本技术在使用坩埚制造具有单向凝固的硅锭时以低成本提供适合大规模生产
032 多晶硅铸锭炉的热场结构
042 带有调装置的多晶硅铸锭炉上料用货叉
010 多晶硅铸锭炉的热场结构
023 多晶硅铸锭或提纯用中频炉组合式方形加热器
040 多温区硅料提纯与铸锭真空炉
029 一种带水冷式双电极和软电缆的多晶硅铸锭炉
036 多晶硅铸锭炉坩埚的护板
053 一种多晶硅铸锭炉用石英坩埚
009 多晶硅铸锭炉用石墨坩锅
030 一种带可升降式保温罩的多晶硅铸锭炉
050 多晶硅铸锭炉炉内喷氩气装置
016 一种多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护装置
045 多晶硅铸锭炉测温镜
033 具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
003 多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
044 一种多晶硅铸锭炉硅液溢流保护结构
038 多晶硅铸锭炉
021 一种多晶硅铸锭炉保温系统
049 一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉
019 一种多晶硅生长铸锭炉
054 一种多晶硅铸锭炉的底部加热装置
051 一种双室多晶硅生长铸锭炉
041 多晶硅铸锭炉同步提升装置
012 一种适于制造大尺寸高纯度多晶硅铸锭的真空炉
001 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
007 多晶硅铸锭炉的热场结构
006 多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
048 一种多晶硅铸锭炉坩埚的夹层护板
022 多晶硅铸锭炉用组合式电阻加热器及节能热场设计
014 多晶硅铸锭炉同步提升装置
047 一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚
025 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
046 多晶硅铸锭炉泄压装置
035 具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构
034 具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
024 制备多晶硅用铸锭炉
020 一种正压状态下生长多晶硅锭的方法和铸锭炉
011 一种多晶硅铸锭炉控温热偶故障处理方法
017 一种多晶硅铸锭炉
026 一种多晶硅分凝铸锭炉
015 多晶硅铸锭炉及控制方法
037 一种多晶硅铸锭炉
043 多晶硅铸锭用高纯石英坩埚专用烧结炉
004 多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
018 多晶硅铸锭炉的耐涂层、耐高温保护层及其制备方法
028 一种无需移动部件的多晶硅分凝铸锭炉
002 多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
008 多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
052 一种多晶硅铸锭炉的热场结构
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